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    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。六合区常见真空搬运机推荐厂家！钟楼区真空搬运机供应

    所述真空吸盘装置包括控制头、数个吸盘、操作手柄，控制头包括顶端开设有开口一、底端开设有开口二的壳体，开口一与搬运管底端连通，开口二通过数根支管与各吸盘一一对应连通，开口二上设置有位于壳体内的阀门，阀门底部的触头螺栓位于壳体外部，且触头螺栓的底面低于吸盘的吸附接触面(吸附接触面是指与被搬运物体直接接触的底面)，操作手柄固定在控制头上。所述阀门包括阀片和数根外壁上套置有弹簧的光杆螺杆，光杆螺杆均匀分布并固定在开口二的四周，阀片配合将开口二封闭并活动套置在各光杆螺杆下端，同时由弹簧抵住。所述控制头带有真空表，操作手柄为带旋转手把的操作手柄。所述真空泵安装在箱体内，箱体置于地面上；所述搬运管为可伸缩式搬运管。本实用新型轻型真空搬运机，不只适用于小型物体的搬运，且结构简单、制造成本低，同时操作简单，降低了劳动强度。本实用新型轻型真空搬运机，搬运工件可以是气密性的，如木板、铁板，或是透气或半透气工件，如纸箱，袋状物，并且工件表面凹凸不平的，本实用新型都能快速起吊和移运工件。本实用新型无重力操控，操作时对各种工件表面不损伤。本实用新型适用于不超过200公斤的搬运。静安区牛皮袋真空搬运机哪里可以买到栖霞区室内深加工真空搬运机推荐厂家！

    万向轮、2移动小车、3拉杆、4立柱、5主升降气缸、6主旋转座、7主旋转轴、8主关节锁死装置、9大侧板、10摆动主臂、11摆动副臂、12副关节锁死装置、13连接板、14横臂旋转座、15旋转臂主轴、16旋转臂、17垂臂旋转座、18副旋转轴、19下垂臂、20扶手、21真空吸盘、22工件。具体实施方式在图中，移动小车2截面呈长方形，其底部四角各设有一万向轮1，移动小车2顶端中部设有立柱4，左侧设有拉杆3，立柱4顶端设有主旋转座6，可旋转360°，主旋转座6通过主旋转轴7与大侧板9相连接，大侧板9内设有气压控制阀，气压控制阀与主升降气缸5相连接，大侧板9左侧下端设有主升降气缸5，大侧板9上设有内侧板，主旋转座6和大侧板9之间设有主关节锁死装置8，摆动主臂10和摆动副臂11一端分别与大侧板9相连接，另一端分别与连接板13相连接，摆动主臂10位于摆动副臂11下侧并与摆动副臂11相平行，横臂旋转座14通过旋转臂主轴15与旋转臂16相连接，旋转臂16可旋转300°，旋转臂16和横臂旋转座14之间设有副关节锁死装置12，旋转臂16末端设有垂臂旋转座17，可旋转360°，垂臂旋转座17与副旋转轴18相连接，副旋转轴18与下垂臂19相连接，下垂臂19上设有扶手20，扶手20上设有电脑控制盒。

    能够减少第二起重机40b与高架搬运车50产生干扰的时刻、和高架搬运车50彼此产生干扰的时刻。另外，也有第二起重机40b或者其他高架搬运车50也以行驶或者停止的状态存在于第二区段内顶棚轨道12的情况，但能够通过高架搬运车50所具备的接近传感器等避免与第二起重机40b或者其他高架搬运车50的干扰。在高架搬运车50的行驶方向上存在第二起重机40b或者其他高架搬运车50的情况下，也可以由控制装置60等针对第二起重机40b或者其他高架搬运车50指示周期性行驶，确保搬运物品2的高架搬运车50的行驶。另外，第二起重机40b或者其他高架搬运车50也可以代替在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶，而从第二区段内顶棚轨道12经由第1连接轨道15或者第二连接轨道16移动至第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14。接下来，如图8所示，高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第二区段内顶棚轨道12上沿顺时针的方向行驶，从第二区段内顶棚轨道12的直线部12a经由第1连接轨道15的出口部15b向第1区段间顶棚轨道13移动(参照图8的箭头)。第二区段内顶棚轨道12、第1连接轨道15、以及第1区段间顶棚轨道13的截面形状相同或者大致相同(参照图6)。溧水区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！

    并不限定于第1、第二处理装置tl1、tl2具备两处装载端口lp，也可以具备一处或者三处以上。另外，在制造工厂等中配置用于暂时保管物品2的第1、第二保管区域sa1、sa2。第1保管区域sa1与第1处理装置tl1对应设置，第1保管区域sa1配置于两列第1处理装置tl1之间。第二保管区域sa2与第二处理装置tl2对应设置，第二保管区域sa2配置于两列第二处理装置tl2之间。在各列第1、第二处理装置tl1、tl2中，装载端口lp配置于与各个第1、第二保管区域sa1、sa2对置的一侧。如图1所示，搬运系统100具备：顶棚轨道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重机40a、40b以及高架搬运车50。顶棚轨道10具有第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16。第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16是将第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12连结的区段间顶棚轨道。第1区段内顶棚轨道11从第1处理装置tl1的装载端口lp的正上方错开配置，并且沿着装载端口lp设置。第二区段内顶棚轨道12从第二处理装置tl2的装载端口lp的正上方错开配置。六合区多功能真空搬运机推荐厂家！钟楼区真空搬运机供应

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    并且沿着装载端口lp设置。第1区段内顶棚轨道11是以包围第1保管区域sa1的方式配置为环状的环绕轨道，第二区段内顶棚轨道12是以包围第二保管区域sa2的方式配置为环状的环绕轨道，但并不限定于该结构。第1区段内顶棚轨道11具有直线部11a和循环部11b。直线部11a在装载端口lp的正上方沿着多个装载端口lp在y方向上配置。直线部11a在俯视下分别配置于第1保管区域sa1与隔着第1保管区域sa1对置配置的多个装载端口lp之间。循环部11b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部11a彼此连接。第二区段内顶棚轨道12与第1区段内顶棚轨道11相同地，具有直线部12a和循环部12b。直线部12a在装载端口lp的正上方沿着装载端口lp与y方向平行地配置。直线部12a在俯视下分别配置于第二保管区域sa2与隔着第二保管区域sa2对置配置的多个装载端口lp之间。循环部12b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部12a彼此连接。此外，在本实施方式中，示出第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12是同一形状或者大致同一形状的例子，但第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12也可以是不同形状。第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14被设置为分别沿着x方向呈直线状延伸。钟楼区真空搬运机供应

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